衡水三维轮廓仪 点击查看详情

三维轮廓仪采用光路、机械、电路和软件算法的一体化和集成化技术，提高了系统稳定性和抗干扰能力；采用背测式技术，打破了被测件尺寸限制；采用重叠平均移相干涉测量技术，保证了测试精度。本作品实用性强，适用范围广，具有打破国外技术垄断，实现技术创新的特点。
三维轮廓仪的应用领域：

工业精密制造领域：
• 食品安全在线检测
• 微电子集成电路表面形貌在线检测
• 印刷电路板品质检测
• 零件器件表面划痕损伤检测
• 微机械精加工质量控制，如钟表，微机械器件等
• 电子产品零件在线监控，如手机，笔记本电脑，平板等
• 微流体器件三维形貌检测
航空**精密部件的检测精密管控测量
• 在线检测设备集成
• 证件防伪，安检科研：
• MEMS器件
• 微机械零件表面形貌观察和测量
• 微光学器件（太赫兹、红外、微波、天线阵列）三维形貌表征
• 生命科学：生物组织/生物体的 三维形貌测量
• 侦查取证：表面划痕观察，微小证据三维形貌快速表征


三维轮廓仪在优化光路结构基础上，采用高精度的调整平台来解决这一问题，其调节精度达到亚微米量级，有效调节被测件的三维倾斜和轴向位移，为干涉成像提供保证。 (2) 干涉条纹定域区间优选和移相精度校准 由于干涉波列长度的减小，不仅使成像面干涉条纹数减少，还使干涉条纹对比度随光程差增大而迅速衰减，这就给从干涉条纹变化中解调相位信息带来了困难。
产品特性：


1.采用白光轴向色像差技术，可获得纳米级的分辨率


2.测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高


3.尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面


4.不受样品反射率的影响


5.不受环境光的影响


6.测量简单，样品*特殊处理


7.Z方向max测量范围为27mm


8.测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)

三维轮廓仪


ERT作为三维表面测量与测量业界的不断探索者，提供从微观到航空发动机内腔各部件等不同大小样品的非接触式测量分析。历经数多年的努力，在原有*特技术的基础上，不断积累创新，来保证面对各种应用环境时精确三维测量所需的高灵敏度和稳定性；而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。ERT能够提供工业上功能强大新型的图形用户界面。智能便捷的操作架构，直观的可视化工作流和广泛的用户定义的自动化能力的结合，使得用户能够快速有效的收集和分析数据。可自动生成用户需要的的结果报告。这些新特性让先进的表面测量报告与广泛的行业标准相兼容。
ERT测量系统在业界一直以优质服务着称，在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间，数以几千计的系统被广泛使用。作为专门为先进质量控制和研发设计的测量仪器，可用于精密加工制造类应用的测量，在手机、汽车、航空**、太阳能、半导体和医疗器械领域，ERT总有一款适合您应用和与预算的光学测量系统。


ERT先进的表面测量与检测


便携式三维轮廓测量仪
仪器设备的基本技术参数
● 型号:MS100
● XY轴行程：100mm x 100mm
● Z轴行程：100mm
● Z轴量程：4mm(可选配50nm-24mm）
● 光斑直径：8um(可根据光笔不同型号选择，小可小于2um)
● XY轴分辨率：50nm
● XY轴平面度:<2um
● XY轴重复定位精度：0.5um
● Z轴线性度：0.01%F.S
● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)
● XY轴大扫描速度：20mm/s
● 样品可测大倾角：漫反射表面大87度
● 适用范围：任何材质表面，尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试
功能与应用
● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量
● 多层透明体厚度测量
● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析
● 2D/3D粗糙度测量
● 可配合产线定制非标自动化检测方案等
三维轮廓仪一方面通过精确设计干涉滤光片带宽，兼顾相干长度对短相干光源与干涉条纹对比度的要求，使得干涉条纹的定域区间得到优化；另一方面通过软件严格判定PZT移相起始位置和条纹图像采样范围，使条纹采样集中在干涉零位左右两个波长范围内，从而有效解决了对比度变化导致的系统误差。 (3) 光路系统和机械系统集成优化设计 在通用光学表面三维形貌检测仪中，光路系统、干涉测量单元精密位移系统和被测件机械调整平台由不同的模块组成，在空间上相互独立。这种结构不仅增大了系统的体积，还会减弱系统的稳定性。本作品将光路系统嵌入机械系统内部，使上述三个分立模块融为一体，采用光机电算集成化技术，实现了仪器的高度集成。从而使得仪器的体积减小、稳定性增加，有效抑制了振动和气流等环境因素的影响。